適用范圍：
．晶圓代工
．晶圓再生
．精密電子
．生化制藥

制程:
．晶圓取放
．精密電子料件傳送
．生化制藥產業各式檢驗

優點：
．體積小
．重現精度高
．ISO CLASS 1
．動作靈活--特別適合應用于狹小空間
．工作范圍大，不需外加直線滑軌即可對應并排3 PORT，節省設備成本及減少污染機會。